半導体用語集
プロセスインテグレーション
英語表記：process integration
プロセス開発の投資抑制を考慮した結果、半導体製造装置内で一定な条件や環境下でいくつかのプロセスを連続して処理を繰返し、同一ウエーハ上にプロセスを重ねることで、歩留まりや生産効率を高める技術。例えば、in-situでエッチングやスパッタなど一連の処理を施して回収するマルチチャンバ装置等が挙げられる。
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