半導体用語集
メインフレーム プラットフォーム
英語表記：main frame plat form
マルチチャンバ装置における搬送室の総称。異なるプロセスのチャンバをドッキングすることでプロセスインテグレーションが可能となり、多種多様な装置構成が実現できる。
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