半導体用語集
マスフローメータ
英語表記：mass flow meter
ガスの流量を電気的に計測する装置。金属性毛細管の外側に捲かれた2個の自己発熱抵抗体間に、流体ガスの質量流量に応じて生じる温度差を、電流値として検出する。圧力損失が少なく、精度も高い。コントロールバルブおよび電気回路と組み合わせると半導体製造用ガスの供給を自動に行う流量制御装置（マスフローコントローラ、mass flow controller）を構成することができる。
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