半導体用語集
ガス精製装置
英語表記：gas purifier
ガス中に含まれる残留不純物濃度をpptレベルまで純化する装置。水素の精製には、パラジウム膜水素ガス純化器と、低温吸着式がある。不活性ガスに対しては、合金ゲッター式と触媒吸着剤方式とがある。
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