半導体用語集
画像処理検出
英語表記：Field Image Alignment:FIA
露光機において前工程の焼きつけパターンの位置を決定するために、重ね合わせ検出マークの位置計測を行う。マーク検出方法としてブロードバンドの白色光を用いてテレビカメラでマークを取り込み、マーク位置を検出する方法を画像処理検出という。ハロゲンランプなどの白色光源を用いてウェハ上のアライメントマークを照明する。マークからの反射光をテレビカメラで画像として取り込み、画像処理によりアライメントマーク位置を決定する。照明に波長分布の広いプロードバンド光を用いるので、レジストや酸化膜などの透明な下地膜による干渉が起こらない。よって下地膜厚の変化に強いという特徴がある。露光波長とは異なる波長を用いて検出するためオファクシス法となる。
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