半導体用語集
洗浄評価
英語表記：cleaning evaluation
洗浄後のウェーハ面に残存するパーティクル、自然酸化膜、有機物および金属不純物の量を計測して、許容値内に除去されたか否かを判定すること。
関連製品
「洗浄評価」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「洗浄評価」に関連する用語が存在しません。
「洗浄評価」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
