半導体用語集
クロスオーバ
英語表記：cross over
コラム内で電子ピームが収束した点をクロスオーバと呼ぶ。LaB6などを用いた熱陰極型の二極電子銃の場合、陰極から放出された電子は、陰極、アノード、 ウェーネル間のレンズ作用により収束される。レンズ収差の影響で、一点には収束することなく、ある大きさに収束する。この収束点をクロスオーバといい、電子光学系ではこれが実質上の光源となる。また、電界放射電子銃の場合は、陰極と第一陽極間は正電位になるため陰極から放出された電子は発散して広がり、陰極内に仮想的なクロスオーバが形成される。発散した電子ビームは、第一陽極と第二陽極間の静電レンズ作 用により収束されて、クロスオーバを作る。電子銃部で形成されたクロスオーバは、電子レンズにより、コラム内のいくつかの位置にクロスオーバ像として投影される。たとえば,プランキングアパーチャ面にクロスオーバ像を投影する。電子ピームをカットするためのプランキング用の開口が小さくなることで、プランキング効率がよくなり、露光時のビームもれを防ぐことができる。また、成形偏向器の屈曲面へクロスオーバ位置を設定し対物レンズの主面位置にクロスオーバ位置を設定すると、ビームサイズを変化させるために、電子ビームを偏向しても、対物レンズの主面位置でのクロスオーバ位置は変化せす、レンズの収差を小さく抑えることが可能となる。さらに、結像系内で形成されるクロスオーバ位置では電流密度が高く、クーロン反発によるピームボケの発生原因となる。このため,ピームボケが小さくなるように、クロスオーバの位置、大きさの最適化が図られている。
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