半導体用語集
ガウシアンビーム
英語表記：Gaussian beam,叩ot beam
ガウシアンビームは電子ビームリソグラフィ装置で使われるビーム形状のーっで、スポットビーム(または丸ビーム)ともいう。
最も古くから使われているビーム形状である。ビームサイズを広範囲にわたって変えられること、徴細なスポットが容易にえられることが特徴で、超徴細図形描画を必要とする先端研究分野で広く使われている。ガウシアンビームは電子銃近傍で作られるクロスオーバ像を所望の寸法になるように、各種レンズを組み合わせた電子光学コラムにより試料面上に縮小投影して形成される。試料面上でのビームプロファイルがガウシアン分布に従うことでガウシアンビームと呼ばれる。高電流密度ビームをえるためには、高輝度で長期安定性に優れたサーマルフィールド工ミッション電子銃を、極徴細スポッ トをえるためには高輝度でクロスオーバ像がきわめて小さいコールドフィールドエミッション電子銃をそれぞれ使用する。
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