半導体用語集
inｰsitu
英語表記：in-situ
元の意味は”その場”。プロセスの使用例として、「in-situクリーニング」は或るプロセスを終了後、引き続きその場でガスエッチングなどの方法でクリーニングすること。「in-situモニタリング」は或るプロセスを行っているチャンバ内で同時に状態をモニターすること。
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