半導体用語集
自動圧力制御
英語表記：automatic pressure control
処理室内の圧力を自動的に制御すること。現在は、処理室内のガス流量を一定にして、圧力のフィードバックをかけ、排気系のコンダクタンスを自動的に調整する方法が一般的である。簡易的には、排気系のコンダクタンスを変えずに、ガス流量を変えて処理室内圧力を制御することもある。
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