半導体用語集
コ・ポリマー
英語表記：co-polymer
単量体(モノマー)を重合するとモノマー単位からなる重合体が生成する。単一のモノマーからなる重合体をホモポリマーといい、2種類以上の単量体(モノマー)を重合してえられた各モノマー単位からなる重合体をコ・ポリマー(共重合体)という。共重合体にはモノマーユニットがランダムに配列したランダム共重合体、各モノマーユニットがブロック的に配列したブロック共重合体さらには各モノマーが完全に交互に配列した交互共重合体などがある。また、各モノマーの重合反応性によってどのようなモノマー仕込みで行うとどのような組成のコポリマーがえられるかが決まる。共重合によって、各モノマーからなるホモポリマーの中間の性質を与えるだけではなく、それらにない新しい性質を与えることも可能であり、新しい物性を有するポリマー合成あるいはホモポリマーの改質に広く使われている。KrFレジストやArFレジストのべース樹脂はスチレン、アクリルあるいはそれらの誘導体であるモノマー単位から形成されており、それらのモノマーは容易に重合し、その制御性も高い。 このため、共重合は、機能性基の導入、耐熱性、機械的強度の改善、溶解性の付与などレジスト膜を改質する方法として非常に有効であり、広く使われている。
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