半導体用語集
プラズマ
英語表記：Plasma
半導体で使われるプラズマは、主に電界エネルギーを印加して、各種ガスを壊した状態をプラズマと言っている。プラズマは「原子」「分子」「電子」「イオン」「励起原子」「解離原子」が電気的に中性な混在粒子の集まりである。電離・解離・励起粒子は化学的・物理的な活性種としてエッチングに応用される。
・電離；電子が原子・分子に衝突して電子を弾き出してイオン電子を発生する。
・解離；電子が分子に衝突して、2つの原子に分解する。分解した原子は非常に不安定状態となる。
・励起；電子が分子・原子への衝突により大きな内部エネルギーを持つ状態になる。
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