半導体用語集
プラズマ
英語表記：Plasma
半導体で使われるプラズマは、主に電界エネルギーを印加して、各種ガスを壊した状態をプラズマと言っている。プラズマは「原子」「分子」「電子」「イオン」「励起原子」「解離原子」が電気的に中性な混在粒子の集まりである。電離・解離・励起粒子は化学的・物理的な活性種としてエッチングに応用される。
・電離；電子が原子・分子に衝突して電子を弾き出してイオン電子を発生する。
・解離；電子が分子に衝突して、2つの原子に分解する。分解した原子は非常に不安定状態となる。
・励起；電子が分子・原子への衝突により大きな内部エネルギーを持つ状態になる。
関連製品
シックウェーハ研磨市場：プロセスタイプ別（機械研磨、化学-機械研磨、電解研磨、化学研磨、プラズマ関連研磨、その他）、製品タイプ別（研磨パウダー、研磨パッド、ダイヤモンドスラリー、コロイド、シリコン懸濁液、その他）、用途別（パワーエレクトロニクス、LED、センサー＆検出器、RF、マイクロ波デバイス、その他）、地域別 - 2024-2033年の世界市場分析、動向、機会、予測
SurveyReports.jp
世界のSicウェーハ研磨市場は2023年に4億米ドルと評価された。同市場は2024年から2033年にかけて年平均成長率39%で拡大し、2033年末には30億米ドルを超えると予測されている。
技術／特許／M&A › 技術 › 電子部品
FlexAL（Oxford Instruments社製）
株式会社アルバック
リモートプラズマ原子層堆積（ALD）プロセスおよび熱ALDの両方を実現
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 成膜装置 › ALD装置
Atomfab（Oxford Instruments社製）
株式会社アルバック
GaNパワーデバイス業界向けプラズマALD 量産対応ソリューション
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 成膜装置 › ALD装置
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