半導体用語集
プラズマ
英語表記：Plasma
半導体で使われるプラズマは、主に電界エネルギーを印加して、各種ガスを壊した状態をプラズマと言っている。プラズマは「原子」「分子」「電子」「イオン」「励起原子」「解離原子」が電気的に中性な混在粒子の集まりである。電離・解離・励起粒子は化学的・物理的な活性種としてエッチングに応用される。
・電離；電子が原子・分子に衝突して電子を弾き出してイオン電子を発生する。
・解離；電子が分子に衝突して、2つの原子に分解する。分解した原子は非常に不安定状態となる。
・励起；電子が分子・原子への衝突により大きな内部エネルギーを持つ状態になる。
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名大院工、尾崎 孝太朗
自治体・省庁・研究機関・団体 › 応用物理学会
半導体プラズマ源の市場規模、シェア、成長、メーカー 2033年
KD Market Insights Private Limited
KD Market Insightsは、市場調査レポート「半導体プラズマ源市場の将来動向と機会分析 - 2024年から2033年」を発表しました。当レポートでは、現在の市場動向と今後の成長機会に関する情報を網羅し、読者の皆様が十分な情報に基づいてビジネス上の意思決定を行えるような市場調査レポートをお届けします。
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