半導体用語集
光散乱法
英語表記：light scattering
強い光を照射し、浮遊微粒子、ウエーハのキズおよび付着微粒子などからの散乱光を受講素子や光電管で感知し、電気的なパルスとして微粒子などの個数を計測する方法。
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