半導体用語集
CNC（凝縮核測定器）
英語表記：Condensation Nuclear Counter
0.1µm以下の微粒子も可視化するために、アルコール、水などの蒸気を微粒子の周りに凝縮させて、微粒子を数µm程度の大きさまで成長させ、凝縮により形成された液滴を光散乱法によって検出している。凝縮させるための過飽和雰囲気を作り出す方法としては、エアロゾルを35℃のブタノールの蒸気で飽和させ、これを10℃に壁面が冷却されている凝縮管に通す。 管内では過飽和の雰囲気は壁面付近でまず生じ、その後、管の中心部へ移動し、粒子を凝縮成長させる。最小検出粒は0.005µm程度まで計測可能。
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