半導体用語集
バッチ式洗浄装置 ウェットステーション
英語表記：batch cleaning equipmwnt wet station
薬溶液、有機溶媒、水など液体を使用して洗浄を行う装置。有害な薬品や溶媒の蒸気が発生する洗浄装置には、室内に蒸気を拡散させない排気フードがつけられる。また薬液対応には耐酸性プラスチック。有機溶媒対応にはステンレス鋼が筐体材料に使われる。装置専用のファンフィルタユニットを天井に有するタイプと無いオープンタイプとに分けられる。一括処理するウェーハの枚数は50（52）枚が一一般的であるが、25（26）枚や100（104）枚のものもある。
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