半導体用語集
PVAスポンジ
英語表記：poly vinyl alcohol sponge
親水性高分子であるPVA（ポリビニルアルコール）を部分ホルマール化して不溶化したスポンジであり、気孔率90％程度の連続気孔を有し、湿潤時の弾性、耐摩耗性、耐薬品性に優れている。精密洗浄用スクラブ材として多用される。PVAスポンジからなるスクラブ材は湿潤時の良好な弾性をよび液体の保持性を有し、ウェーハ表面を傷つけることなしにパーティクルをソフトにスクラブして効果的な洗浄を可能とする。PVAスポンジの気孔径は任意のものが得られるが、CMP後洗浄用としては60から130μm程度のものが選定され、ブラシロール形状を始めとしてディスク、ペン型等、各種形状の部品が洗浄目的に応じて使用されている。また、洗浄効果を向上させるため、連続気孔を利用してスクラブ材の内側から表面に純水や薬液を流しながら洗浄する方法も行われている。
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