半導体用語集
STIR
英語表記：site total indication reading
ステッパーによる単位露光領域、通常15mm×15mmあるいは20mm×20mmと仮定して、この領域において焦点面からの平面形状のバラツキの最大値を言う。平坦度を表す方法の1つ。ウェーハ裏面を真空吸着した状態で焦点面という基準面からのポジティブ最大偏差aとネガティブ最大偏差bの和で表される。
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