半導体用語集

熱処理炉

英語表記：heat treatment furnace

インゴットまたはウェーハを熱処理するための装置。結晶直径の増大と共にウェーハ状態での熱処理が主流になってきている。抵抗加熱ヒータと炉心管を横に配置した横型炉または炉心管および抵抗加熱ヒータを縦に配置した縦型炉とがある。


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