半導体用語集
抵抗加熱ヒータ
英語表記：resistance heating element
ホットウォール熱処理炉を構成する電気抵抗による発熱を利用した加熱用ヒータ。スループット向上のため、急速加熱、冷却を可能にしたヒータも開発されている。
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