半導体用語集
FTPS
英語表記：Fast Thermal Processing System
従来の抵抗加熱ヒータにくらべて、飛躍的にその昇降温性能を向上させたヒータ。従来型ヒータは一般的に3～10℃/min 程度の昇温性能しか持たなかったが、主にセラミックで形成されたこのヒータを用いると50～100℃/min での昇温が可能である。一般的にはこの技術に反応室内を強制的に冷却する強制空冷システムと呼ばれる技術と組み合わせて幅広い工程で使用されている。
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