半導体用語集
研磨布
英語表記：polishing cloth cloth pad buff
ウェーハを研磨する為の布。メカノケミカルポリシングにおいては一定の研磨能力を持ち、一定の摩擦抵抗、適度の硬さがありまた、親水性、粘弾性、耐薬品性にもすぐれた人工皮革が主流である。発泡ウレタンタイプ、スエードタイプ、不織布に分けられる。クロス、パッド、バフ、羽布とも呼ばれる。
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