半導体用語集
ランプCVD装置
英語表記：ultraviolet lamp heating CVD system
ランプ光源装置とウェーハ加熱用ヒータを内蔵した反応室からなるCVD装置。ランプ光源には紫外線（200~300nm）や真空紫外線（200nm以下）の波長範囲を発生するランプを用いる。反応分子の光分解、すなわち分子のポテンシャルエネルギーが紫外線を吸収し、電子励起状態に高まり、その後分解することを利用する。
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