半導体用語集
冷却塔 クーリングタワー
英語表記：cooling tower
水中に存在するカチオン（Na+、Ca2+、Mg2+など）を吸着除去するイオン交換樹脂。カチオンを吸着する力の強い強酸性カチオン交換樹脂と、吸着する力の弱い弱酸性カチオン交換樹脂の2種類がある。またポーラス型、ゲル型の2種類がある。
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