半導体用語集
アレニウスグラフ アレニウスプロット
英語表記:Arrhenius graph Arrhenius plot dependence of life time on temperature plot
被試験デバイスの寿命推定に必要な活性化エネルギーの値を求めるグラフ。エレクトロマイグレーション試験やTDDB試験などの結果より求める。
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