半導体用語集
結晶構造
英語表記：crystal structure
結晶固体内の原子やイオン分子の配列。
関連製品
［ED］電子回折法
財団法人材料科学技術振興財団
電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を調べる手法です。
技術／特許／M&A › 技術 › 半導体製造(プロセス、装置、材料など）
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