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[ED]電子回折法

財団法人材料科学技術振興財団
最終更新日: 2025年02月11日

電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を調べる手法です。

・物質の結晶学的情報が得られます。
透過電子顕微鏡の場合、単結晶では規則正しく並んだ回折斑点(スポット)、多結晶では同心円状の円環、非晶質ではブロードな円環状の電子回折図形となります。
・透過電子顕微鏡で観察される微小領域の結晶構造を調べることができます。
・結晶構造とEDX法での元素分析結果とを組み合わせることで、結晶性を有する物質を特定することも可能です。

基本情報

<適用例>
Siや化合物半導体、酸化物半導体、金属などの
・結晶性評価
・結晶構造の同定
・結晶方位評価
・結晶の配向性評価

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取扱企業

財団法人材料科学技術振興財団

業種:試験・分析・測定  所在地:東京都 世田谷区喜多見 1-18-6

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