半導体用語集
磁気浮上搬送
英語表記：magnetic levitation transfer
磁気反発力を利用した非接触搬送機構。磁気浮上の制御を行う制御電磁石及びリニアモータと浮上体とにより構成され、マスク、ウェーハなどの基板は浮上体上に載り、移動させられる。真空中での使用の場合、非接触、無摺動、無潤滑油であるためダストの発生が全くなく、ダストフリー搬送、クリーンバキュームが得られるなどの大きな特徴を持つ。
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