半導体用語集
高さセンサ
英語表記：height sensor
露光装置においてはパターンを焼きつけるウェハ面の高さを計測し投影レンズの焦点面に合わせる必要がある。この時ウェハの高さの計測を行うセンサを高さセンサという。露光波長とは異なるレジストに対して非感光な波長の光を用いて、露光面を斜め浅くに照射し、その反射光を検出する光学式センサカが広く用いられる。また、エアーをウェハに吹きつけ、空気圧で高さを一定に保つエアーフォーカス式もある。
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