半導体用語集
閾値電圧：Vth
英語表記：Threshold Voltage
MOSトランジスタのソース・ドレイン間が導通し電流が流れる、即ちONになるゲート電圧をVth（閾値電圧）と呼んでいる。実効的には、ゲート幅1μm辺り10-7A流れる電圧を閾値電圧としている。このVthの値は、チャンネル部の不純物濃度、ゲート酸化膜の厚さとその誘電率、ゲート電極とチャンネル部の仕事関数差により決まる。システムLSIには様々なセル（機能単位）が混載されていて、高性能（高速動作）セル、低消費電力セル、メモリセル等で動作電圧を変える必要が生じる。このためセル毎にチャネル不純物濃度、ゲート絶縁膜厚を変化させてVthを制御する。
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