半導体用語集
レジスト膜厚均一性
英語表記：resist film thickness uniformity
ウェハ上に塗布されたレジスト膜厚のばらつきを示す指標。薄膜干渉法などの膜厚測定器を用い、ウェハ最外周部を除く複数個所のレジスト膜厚を測定し、平均値と偏差値などを算出する。
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