半導体用語集
ビームフィルタ
英語表記：beam filter
多価イオン注入などにおいて、イオンビームと残留ガスとの衝突などにより発生する低エネルギー成分を除くため、適当な電位障壁を設けた機構。多価イオン注入は、装置最大加速電圧以上の注入エネルギーが必要な場合に使用する。
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