半導体用語集
エアカーテン
英語表記：air curtain
ULPAフィルタなどで清浄化された空気をスリット状のジェット空気流にし、空間を空気的に区画する装置。扉や垂れ壁などによる区画では生産効率の低下が顕著に発生する場合に用いられているが、誘引に対する配慮も必要である。
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