半導体用語集
窒素ガス脱気装置
英語表記：nitrogen gas bubbling deaerator
窒素ガスと水とを接触させ、水中の酸素分圧を下げることにより、溶存酸素を除去する装置。水と窒素ガスの微細気泡と向流接触させるか、窒素ガスの雰囲気下に水をスプレーさせることにより除去する。水中の窒素ガス以外の溶存ガスを除去できる。
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