半導体用語集
アライメントステージ
英語表記：alignment stage
ボンディング位置精度を向上させることを目的に、移送コレットでピックアップしたダイの位置を修正、又は補正するステージ。
関連製品
CMXシリーズ
THK株式会社
画期的な駆動モジュール構造を採用した、超薄型の精密アライメントステージ
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 半導体製造装置関連部品 › ステージ（リニアモータ）
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