半導体用語集
平板マグネトロン スパッタリング装置
英語表記：planar magnetron sputtering system
磁力線が平板上ターゲットの裏から出て再びターゲット側にる構造のカソード構造を持つマグネトロン型スパッタリング装置。磁場はターゲット上でループ状（race track）になっており、電子がその空間に閉じ込められる構造となっている。
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