半導体用語集
複葉回収 バッチ回収
英語表記：batch wafers retrieval
インゴットをウェーハ状に切断し、多数同時に取り出す方式。この場合、切断したウェーハはスライスベースで保持し、多数枚毎に、スライスベースから切離す方法が取られる。
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