半導体用語集
断面均熱
英語表記：radial temperature uniformity
熱酸化装置、熱拡散装置、CVD装置などにおいて、炉の任意段面における温度分布の均一性。断面温度の均一性はウェーハの面内温度均一性に直結するため、例えばCVD膜成長において最も重要な要素の一つである。
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