半導体用語集
マウスホール
英語表記：mouse hole
素子パターンの段差部に薄膜を形成した際、側壁と平面とでの膜質の違いにより、その後のエッチング、工程で部分的に高い速度でエッチングが進行して発生する虫食い状の孔。
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