半導体用語集
電子シェーディング効果
英語表記：electron shading effect
イオンが垂直入射するのに対して、電子は斜めに入射するためレジストパターンの側壁が負にチャージアップし、密パターン部ではこの負電荷に反発されて比較的低速の電子がパターン底へ入れなくなる現象。
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