半導体用語集
マランゴニ乾燥
英語表記：marangoni drying
<p>純水リンス槽からウェハを1mm/ 秒程度の低速で引き上げる時に、ウェハと純水と大気の固気液界面に、水が可溶な有機溶媒ガスを窒素などをキャリアガスとして供給する。</p><p>この時界面に有機溶媒が吸着して、マランゴニ効果によりウェハ表面に湾曲して付着している水分に表面張力の勾配が生じる。これにより付着している水分はさらに湾曲し、結果として水分は表面から除去される。</p><p>この方法で乾燥したウェハ表面の水分量はスピン乾燥の場合よりも少ないことが示されている。有機溶媒としてはイソプロピルアルコール(IPA)などが用いられる。</p>
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