半導体用語集
マランゴニ乾燥
英語表記：marangoni drying
リンス槽よりウェーハを適当な速度で引き上げながらIPA蒸気を含む窒素ガスを吹き付けて室温で乾燥する方法。引き上げウェーハが水面を横切るときにできるメニスカス部（気液界面とウェーハ面との交差部にできる湾曲面部）の水がIPAの溶解によって表面張力が下がり、ウェーハが水に濡れなくなるマランゴニ効果を利用する。IPA消費量が少なく、ウォーターマークができないなどの特徴がある。
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