半導体用語集
加速器
英語表記：
加速器はイオンにエネルギーをあたえ、最終的に注入深さと不純物の分布を決定するイオン注入装置の種類によって異なるが、300eV程度から10MeVにも及ぶ。高電圧は通常、倍圧整流のコックロフト・ウォルトン回路で得られる。1MeV程度以上の超高エネルギーを得る方法としては、一度、高電圧で引き出したイオンを負→正の電荷変換をして加速するタンデム型、イオンを高周波で引き寄せ/追い出しで加速するライナック（LINAC）型がある。
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