半導体用語集

スパッタエッチング

英語表記：sputter etching

不活性ガスイオンのスパッタ効果によるエッチング。金属堆積の前処理や凸部の平坦化などに使用されている。

関連製品

「スパッタエッチング」に関連する製品が存在しません。

キーワード検索

フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます

関連用語

関連特集

会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。

会員登録をする