半導体用語集

往復カット

英語表記:down and up cutting

ウェーハを1ライン毎にブレードの回転方向と同一方向送り(ダウンカット)と逆方向送り(アップカット)で交互にカットする機能。一方向のみでのカット方式に比べスループットは向上するが、チッピングが大きくなる傾向がある。


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