半導体用語集
テレセントリック
英語表記：telecentric system
結像に関係するビームの主光線が試料面の垂直軸に平行になるように構成された光学系をテレセントリック光学 系という。
ウェハに入射する電子ビームのランディングアングルが大きい場合,ウェハ高さ方向の位置ずれは,次式で表わされる。
δ = δ2 x tanθ
δはウェハの高さ方向のずれ、θはランディングアングルである。ウェハ高さ方向の位置のずれによるビームの位置変動には、主偏向によるランディングアングルが大きいと、主偏向の接続誤差、主偏向位置による副偏向の大きさ誤差などが発生する。これらを抑えるために、偏向領域内で電子ビームが常にウェハに対して垂直に入射するように光学系を設計する。対物レンズと偏向器との組み合わせにより、具体的には、対物レンズの前方焦平面に偏向器を配置する、偏向系を2段偏向とすることなどによって、ウェハに入射する電子ビームの角度がほぼ垂直になるように偏向することができる。
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