半導体用語集
両テレセントリックレンズ
英語表記:double telecentricity lens
入射瞳も出射瞳も無限遠に位置する光学系で、すべての主光線は物体空間及び、像空間においても光軸に平行になり、物体面や像面の位置誤差、倍率誤差に与える影響を少なくしたレンズ系。
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