半導体用語集
インラインヒータ
英語表記：inline heater
過熱薬液洗浄や加熱純水リンスを行うために、供給配管または循環濾過配管の途中に液を流しながら加熱できるようにした装置。処理槽内の投込みヒータを使わないようにすることができる。
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