半導体用語集
面圧力分布測定
英語表記：surface pressure distribution measurement
互いに接触する部分の圧力をある単位領域に分けて検出しその分布を測定すること。タクタイル（触感）センサーなどが用いられる。多数の測定点を有し柔軟性に富んだセンサー部は各種形状に対応できる。測定原理は薄いフィルムに圧力の大きさに対応して電気抵抗値が変化する感圧部を格子状に細かく配列させ、その部分の電気抵抗値の変化を順次測定するもので、その測定値と測定点を対応させて圧力分布を得る。一般には、自動車の座席シートや、靴、布団などのような医療、スポーツ関係の圧力分布測定に使用される。半導体デバイスの用途では、超精密平面研磨におけるシリコンウェーハに掛かる面内圧力分布の測定や、液晶ガラス基板の貼り合わせ工程などに使用される。圧力分布がウェーハの面内均一性に大きく影響を与える研磨の領域では、in-situの圧力分布測定が望まれる。
関連製品
「面圧力分布測定」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「面圧力分布測定」に関連する用語が存在しません。
「面圧力分布測定」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
