半導体用語集
チャンネリング
英語表記：Channeling
Si結晶を特定の方向から見ると原子が重なって見え、隙間だらけに見えるようになる。この方向からイオンを注入すると、結晶原子と衝突せずに侵入するイオンが多くなる。注入不純物分布の予測は非晶質基板を仮定しているため、予測値よりも深い分布を形成してしまう。これをチャンネリングと呼ぶ。チャンネリングを防止するには、通常、基板の法線に対し7°(Tilt)傾けその面内で23°(Twist)回転させて注入する。
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