半導体用語集
継手
英語表記：fitting
ガス配管接続部を継ぎ合わせるための金具。外部リークを検出限界の2×10-11Torr・ℓ/sec以下に抑えてある。ナットにベアリングを採用することによって接合部での摺動および配管のねじれを防止した、MCG継手、JSK継手がある。又、外部応力に対する外部リークを防止してガスケット部のデッドスペースを完全になくしたUPG継手がある。
関連製品
TBN溶着継手用溶着機 PWM-120 Series
株式会社キッツエスシーティー
PFA製チューブおよびTBシリーズ継手を溶着する装置として、これまでの当社の溶着作業経験を反映した溶着機
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 半導体製造装置関連部品 › 薬液バルブ
キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
