半導体用語集
ガス配管接合技術
英語表記：gas pipeline installation technology
ガス供給系を構成する部品を、継手または溶接によって接続する技術。溶接については、鏡面研磨された接ガス面上に酸化物あるいはカーボンなどを析出させないように、自動溶接機を用いて突き合わせて接続する方法を採用する。たとえばツインアーク溶接機は、溶接施工におけるアーク放電時に、極微量の固体不純物や気体不純物が配管突合せ部から侵入することを防止するための、突合せ自動溶接機。ウェルヘッド内に2本の放電電極を装備してアーク放電時にアークを同時放電させ、配管突合せ部にひずみを発生させずに自動溶接を行うことが可能である。
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